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“PM2.5,是大家很熟悉的微小颗粒物,直径小于或等于2.5微米。但我们研制这种制造芯片的关键材料,在过程中如果进入了哪怕PM1.0的粉尘,这个材料就是废品,就不能被应用到芯片当中。”
唐一林简单一句话,道出了集“超纯净”与“超均匀”于一体的制芯新材料——“光刻胶用线性酚醛树脂”对环境的苛刻要求。5月初,这位亚洲最大酚醛树脂生产基地的掌舵者告诉科技日报记者,历时26年,用于芯片制作的国产高端电子树脂研制成功。专家认为,这种高端材料打破了美日等国垄断,可大大加速我国自主芯片的研制进度。
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